ASML PAS2500/10 lithografie machine

Het museum is trots dat we een lithografiemachine van ASML aan de collectie hebben kunnen toevoegen: de PAS 2500/10 uit 1986. Dit was het eerste, geheel door ASML zelf ontwikkelde lithografie systeem. De machine markeert het begin van een lange reeks innovatieve systemen die voor een revolutie in de elektronica industrie hebben gezorgd. Met de toevoeging van de machine aan de collectie van het museum maken we het verhaal van lithografie compleet: van de vroege steendruk tot de hedendaagse microchip technologie.

Enkele specificaties:

• Het systeem kon lijntjes van 900 nanometer afbeelden. Met de nieuwste machine is dat kleiner dan 10 nanometer. Ter vergelijking: een haar groeit gemiddeld 8 nanometer per seconde.
• Een microchip bestaat uit vele lagen die deze machine met een nauwkeurigheid van 250 nanometer op elkaar kon leggen. De huidige systemen doen dat met een nauwkeurigheid van ongeveer 2 nanometer.
• De maximale wafer grootte was 150 millimeter. Sinds het begin van de eeuw worden meestal wafers met een doorsnede van 300 millimeter gebruikt.
• De productie capaciteit was maximaal 66 wafers van 150 millimeter per uur. Nieuwe systemen kunnen tot 350 wafers per uur produceren die ook nog veel groter zijn.

Lithografie is de kerntechnologie bij het maken van computerchips. Dit systeem, wat volgens de huidige standaard simpel oogt, was in 1986 het neusje van de zalm op lithografie gebied. Destijds was ASML nog een kleine speler. Intussen is het bedrijf uitgegroeid tot de belangijkste leverancier op de lithografiemarkt met een marktaandeel van meer dan 80%. Dat betekent dat meer dan 80% van alle moderne computerchips (deels) op een ASML machine worden gemaakt.